行業(yè)資訊
凈化工程的發(fā)展趨勢節(jié)能化
一、競爭方向轉(zhuǎn)變
凈化工程由價格競爭轉(zhuǎn)變?yōu)閮r值競爭。隨著電子產(chǎn)品的集成化、密化、微型化、功能化等趨勢,對元器件的可靠性要求越來越高,電子信息制造業(yè)對潔凈室的要求標準也更加嚴格。微量的臟污或微弱的靜電都有可能造成元器件產(chǎn)品良品率的大幅降低,直接影響公司的效益。目前硬盤磁頭的靜電壓閾值已經(jīng)下降到3V以內(nèi),部分IC的封裝環(huán)境要求達到Class10,甚至Class1的水平。
電子信息行業(yè)的技術(shù)發(fā)展和高性能要求促使凈化工程行業(yè)企業(yè)由價格競爭轉(zhuǎn)向技術(shù)競爭,只有具備技術(shù)研發(fā)、自主創(chuàng)新能力的企業(yè)才能滿足客戶需求而持續(xù)發(fā)展,才能設(shè)計和建造符合要求的高端的潔凈室,相關(guān)技術(shù)和服務能力的提升將成為未來市場競爭的焦點。
二、節(jié)能化成為潔凈工程重要目標
潔凈廠房是我國的耗能大戶之一,據(jù)不完全統(tǒng)計,凈化工程的能耗是一般寫字樓的10~30倍。我國的8英寸芯片廠,潔凈室單位面積能耗比美國同型工廠高15%。美國耗能1.28kW/m2~1.63kW/m2,而中國耗能1.48kW/m2~1.93kW/m2。
以上海某知名芯片廠為例,其全年耗電量51%是用于凈化工程運行及相關(guān)的維護,如果將51%的能耗合理降低,對企業(yè)來說就意味著利潤的增長。因此,潔凈室下游相關(guān)行業(yè)企業(yè)越來越重視潔凈室的節(jié)能問題。這就要求凈化工程行業(yè)的設(shè)計和施工企業(yè),從客戶需求出發(fā),從設(shè)計理念、建造施工、設(shè)備配備及運行等各個方面進行節(jié)能設(shè)計,只有采取全方位的節(jié)能技術(shù),整個潔凈工程行業(yè)才能持續(xù)、良性發(fā)展。
三、高端潔凈技術(shù)方向發(fā)展
空氣分子污染(AirborneMolecularContaminants,AMC)作為IC工廠所關(guān)心的問題于20年前最先由日本人提出,近年來,世界IC技術(shù)發(fā)展迅速,IC芯片日益微型化。AMC對當前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要廣泛多,粒子污染控制只需要確定粒徑及個數(shù),但對AMC控制而言,除了受芯片線寬的縮小而變化外,并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及傳送系統(tǒng)等的影響。更有甚者用于某一工序的各種工藝材料(化學品、特種氣體等)在很多情況下其微量的分子殘余對下一工序往往可能就是污染物。
因此,IC生產(chǎn)過程中的某些加工工序及工序間的材料傳送和存放環(huán)境中,AMC已成為嚴重影響成品率的重要問題,AMC分子控制技術(shù)成為凈化工程設(shè)計與施工建設(shè)的主流趨勢。
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